SemiOps 洁净室与厂务运营
SemiOps 是面向半导体厂务和洁净室运营的行业模块。它把运营数字孪生上下文与洁净室读数、SMT 生产记录、厂务测量、维护记录、合规评估和 AI 辅助审阅工作流连接起来。
当设施、制造或质量团队需要监控洁净室状态、调查设备或工艺风险，并为运营团队准备已审阅行动时，使用本指南。
AI 工具层请查看 SemiOps AI 工具。
SemiOps 工作流
当前支持内容
| 区域 | 用户可以审阅的内容 |
|---|---|
| Dashboard | 洁净室数量和状态、SMT 产线状态、平均 OEE、当前 PUE 和活动告警。 |
| 洁净室 | 洁净室列表、详情、粒子历史、ISO 评估历史和压差梯度状态。 |
| SMT 运营 | 产线概览、OEE、生产记录、缺陷记录、DPMO 输入和瓶颈仿真输入。 |
| 厂务系统 | 公用工程读数、PUE 趋势、负载预测输入和冷机负载优化输入。 |
| 维护 | 过滤器状态、设备健康、振动评估和预防性维护计划。 |
| 合规审阅 | ISO 14644 评估记录和运营合规证据摘要。 |
| 决策中心 | 近期告警、决策历史、闭环建议草稿、动作优先级、what-if 对比、容量规划、执行计划和升级计划。 |
开始前准备
| 要求 | 说明 |
|---|---|
| 租户访问 | 操作员必须位于正确客户或站点租户。 |
| 权限 | 只读工作流需要 semiops.view。记录评估、创建决策记录和准备执行动作需要 semiops.edit。 |
| 洁净室主数据 | 洁净室应包含面积、目标等级、位置和关联设备。 |
| 传感器读数 | 粒子、压力、温度、湿度、振动和公用工程测量值应映射到正确洁净室、产线或设备。 |
| 制造记录 | SMT 产线、OEE、生产和缺陷记录应使用一致时间戳、产线 ID、检查类型和产品上下文。 |
| 维护记录 | 设备状态、告警、工单和预防性维护计划应足够新鲜。 |
| 数据基础 | 源系统需要连接器、映射、同步历史、质量审阅或受治理数据集时使用 DFS。 |
入口路由
| 视图 | 路由 |
|---|---|
| Dashboard | /semiops/dashboard |
| Cleanroom list | /semiops/cleanrooms |
| Cleanroom detail | /semiops/cleanrooms/:id |
| SMT overview | /semiops/smt |
| SMT defects | /semiops/smt/defects |
| Energy overview | /semiops/energy |
| Utility breakdown | /semiops/energy/utilities |
| Environment overview | /semiops/environment |
| Environment correlation | /semiops/environment/correlation |
| Environment prediction | /semiops/environment/prediction |
| Soft sensors | /semiops/environment/soft-sensor |
| Filter maintenance | /semiops/maintenance/filters |
| Equipment health | /semiops/maintenance/health |
| Vibration | /semiops/vibration |
| Compliance | /semiops/compliance |
| Decision center | /semiops/decision-center |
| Cleanroom simulation | /semiops/simulation/cleanroom |
| SMT simulation | /semiops/simulation/smt |
关键工作方式
审阅洁净室
打开 SemiOps > Cleanrooms，选择洁净室，审阅粒子趋势、ISO 评估历史、压差梯度和压力 cascade 状态，并确认关联设备。
记录 ISO 评估
合规工作流用于记录 ISO 14644 评估结果。先确认粒子数据和目标等级，运行评估后审阅 assessed class、pass 状态、各粒径限制、均值和 upper confidence limit。只有授权审阅人确认后才保存评估。
监控粒子和压力
| 检查 | 输入 | 输出 |
|---|---|---|
| 粒子监控 | 采样点、粒径、粒子数和 ISO class。 | 正常、预警或严重状态，以及粒径摘要和告警详情。 |
| 压力 cascade | 区域、目标压差、实际压差和容差。 | 正常、预警、反向或传感器故障状态。 |
| 环境趋势 | 近期参数值、时间戳、horizon 和可选阈值。 | 预测值、趋势方向、置信度和阈值时间。 |
| 环境相关性 | 温度、湿度、压力、粒子或其他参数的对齐时间序列。 | 成对相关性、强相关项和生成洞察。 |
| Soft sensor | 温度、湿度、粒子、换气次数、洁净室年龄、过滤器压降和运行小时。 | AMC、露点和过滤器负载估计。 |
审阅 SMT 产线表现
使用 SMT 视图把设备上下文与产线表现连接起来：查看 OEE、缺陷记录、缺陷分类、DPMO 输入和瓶颈仿真。SMT 仿真在运行时依赖可用时使用离散事件仿真，否则使用分析计算。它用于产线平衡规划和审阅。
审阅厂务和能源信号
SemiOps 能计算 PUE、短期负载预测和冷机负载候选方案。现场调整前，需要由厂务团队确认设定点、安全限制和运行约束。
使用决策中心
决策中心把近期告警和运营记录放入结构化审阅工作流。审阅近期告警和决策历史，生成闭环建议草稿，检查优先级、what-if 和容量规划，然后由负责人确认是否执行或升级。
API 范围
SemiOps 应用 API 位于 /api/v1/semiops 下：
| 分组 | 示例 endpoint |
|---|---|
| Cleanroom | /cleanrooms, /cleanrooms/{id}, /cleanrooms/{id}/particles, /cleanrooms/{id}/iso-assessments, /pressure-gradients |
| SMT | /smt/lines, /smt/lines/{id}/oee, /smt/lines/{id}/production, /smt/defects |
| Utilities | /utilities, /energy/pue |
| Maintenance | /maintenance/filters, /maintenance/health, /maintenance/vibration, /maintenance/schedule |
| Compliance | /compliance/iso14644, /compliance/assessments, /compliance/assess |
| Decision | /decision/recent, /decision/history, /decision/closed-loop, /decision/execute-plan, /decision/escalate |
| Prediction | /prediction/action-priority, /prediction/what-if, /prediction/capacity |
AI 辅助工具位于 /ai/semiops，包括 /iso-assess、/pressure-check、/particle-monitor、/env-predict、/env-correlate、/soft-sensor、/filter-predict、/health-score、/vibration-assess、/pue、/load-forecast、/cop-optimize、/defect-classify、/defect-dpmo 和 /bottleneck-sim。
验证清单
- 洁净室、设备、产线和公用工程标识映射到正确租户对象。
- 传感器、生产记录、告警和工单时间戳对齐。
- 压力、粒子浓度、振动速度、冷量需求和功率等工程单位一致。
- 来源值对当前决策足够新鲜。
- 告警和工单负责人可见。
- AI 辅助输出已由设施、制造、质量或维护负责人审阅。