当设施、制造或质量团队需要审阅洁净室环境状态，并准备 ISO 14644 相关证据时，使用本指南。
前提条件
| 要求 | 作用 |
|---|
| 洁净室目标等级 | ISO 评估依赖目标等级和采样上下文。 |
| 质量审阅人 | 评估输出需要责任人审阅后才能进入记录。 |
| 当前传感器 | 粒子、压差、温度和湿度读数需要足够新。 |
| 输入 | 审阅重点 |
|---|
| 粒子读数 | 粒径、数量、采样点、周期和仪器上下文。 |
| ISO 评估 | 评估等级、通过状态、限制、均值和审阅说明。 |
| 压差梯度 | 区域对、目标压差、实际压差和容差。 |
| 环境趋势 | 近期温度、湿度、压力、粒子序列和阈值。 |
| Soft sensor | AMC、露点、过滤器负载、贡献因素和置信说明。 |
操作步骤
- 选择洁净室和审阅周期。
- 确认来源新鲜度和采样上下文。
- 审阅粒子读数和 ISO 评估历史。
- 检查压差梯度、反向或传感器故障状态。
- 在可用时审阅环境趋势、相关性和 soft sensor 输出。
- 记录负责人说明、证据缺口和下一步检查。
预期输出
审阅应形成一份洁净室环境记录，包含当前状态、ISO 证据、压差关注点、趋势说明和负责人决定。
验证清单
- 目标等级和采样上下文明确。
- 粒子和压差读数包含时间戳和单位。
- ISO 证据有责任审阅人。
- 趋势结论说明来源新鲜度。
- 后续动作有负责人。
故障处理
| 现象 | 处理 |
|---|
| 缺少采样上下文 | 将评估保持为草稿审阅记录。 |
| 压差读数出现反向 | 先检查传感器映射和区域关系。 |
| Soft sensor 输出不确定 | 记录贡献因素，必要时请求直接测量。 |
| 证据负责人不清 | 分配负责人前不最终确认记录。 |
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