當設施、製造或品質團隊需要審閱潔淨室環境狀態，並準備 ISO 14644 相關證據時，使用本指南。
前提條件
| 要求 | 作用 |
|---|
| 潔淨室目標等級 | ISO 評估依賴目標等級和採樣上下文。 |
| 品質審閱人 | 評估輸出需要責任人審閱後才能進入記錄。 |
| 目前感測器 | 粒子、壓差、溫度和濕度讀值需要足夠新。 |
| 輸入 | 審閱重點 |
|---|
| 粒子讀值 | 粒徑、數量、採樣點、週期和儀器上下文。 |
| ISO 評估 | 評估等級、通過狀態、限制、均值和審閱說明。 |
| 壓差梯度 | 區域對、目標壓差、實際壓差和容差。 |
| 環境趨勢 | 近期溫度、濕度、壓力、粒子序列和閾值。 |
| Soft sensor | AMC、露點、濾網負載、貢獻因素和置信說明。 |
操作步驟
- 選擇潔淨室和審閱週期。
- 確認來源新鮮度和採樣上下文。
- 審閱粒子讀值和 ISO 評估歷史。
- 檢查壓差梯度、反向或感測器故障狀態。
- 在可用時審閱環境趨勢、相關性和 soft sensor 輸出。
- 記錄負責人說明、證據缺口和下一步檢查。
預期輸出
審閱應形成一份潔淨室環境記錄，包含目前狀態、ISO 證據、壓差關注點、趨勢說明和負責人決定。
驗證清單
- 目標等級和採樣上下文明確。
- 粒子和壓差讀值包含時間戳和單位。
- ISO 證據有責任審閱人。
- 趨勢結論說明來源新鮮度。
- 後續動作有負責人。
故障處理
| 現象 | 處理 |
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| 缺少採樣上下文 | 將評估保持為草稿審閱記錄。 |
| 壓差讀值出現反向 | 先檢查感測器對應和區域關係。 |
| Soft sensor 輸出不確定 | 記錄貢獻因素，必要時請求直接測量。 |
| 證據負責人不清 | 分配負責人前不最終確認記錄。 |
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