比較潔淨室運行情境
使用本頁流程對潔淨室運行假設進行早期比較。半導體營運工作區提供離散事件模擬（DES）檢視，用於比較粒子產生率、風機濾網機組（FFU）數量、開門活動、更衣規範和研究時間對情境級結果的影響。
在營運評審中使用比較結果之前，還應結合目前粒子、壓差、溫度、濕度、濾網和工單證據。
作業流程
前置條件
| 條件 | 作用 |
|---|---|
| 潔淨室識別 | 關聯正確房間、目標等級和設備 |
| 目前運行資料 | 提供粒子、壓差、溫濕度和濾網情境 |
| 情境負責人 | 確認假設和比較問題 |
| 品質或設施評審人 | 判斷結果是否適合支援預期決策 |
設定情境
- 開啟半導體營運 > 潔淨室模擬。
- 選擇潔淨室。
- 輸入用於比較的粒子產生率。
- 輸入啟用的 FFU 數量。
- 設定預計開門頻率。
- 選擇更衣規範狀態。
- 設定研究時間。
- 記錄情境原因和待比較的基線。
- 選擇執行模擬。
需要了解單項因素的影響時，每次只變更一個運行假設。多項調整必須協同評估時，將它們儲存為一個名稱明確的情境包。
檢查結果
| 結果 | 評審問題 |
|---|---|
| 平均粒子數量 | 與基線和實測範圍相比有何變化 |
| 恢復時間 | 開門擾動後，模型多快回到穩定狀態附近 |
| 模擬達到的 ISO 等級 | 在所選假設下，情境落在哪個模型等級區間 |
| 估算能耗 | FFU 數量和運行時間如何改變情境估算 |
| 粒子時間線 | 擾動何時發生，恢復過程是否穩定 |
| 換氣比較 | 不同換氣水準下，模型粒子濃度如何變化 |
可追溯的模擬證據應包含潔淨室、場景、輸入、引擎或模型識別、運行時間、輸出和評審人。缺少這些資訊的結果保留為情境草稿。
連接到實際營運
將模型結果與以下證據比較：
- 依粒徑和取樣點記錄的實測粒子資料；
- 壓差梯度狀態和開門事件；
- 溫度與濕度趨勢；
- FFU 配置和濾網狀態；
- 維護或工單歷程；
- 最新 ISO 14644 評估記錄。
記錄該情境是否支援進一步量測、工程研究、維護檢查或受控運行試驗。
問題處理
| 問題 | 處理方式 |
|---|---|
| 潔淨室識別或目標等級不清楚 | 修正房間識別和目標等級後再執行比較。 |
| 目前粒子或壓差證據過期 | 更新營運資料並記錄量測時間窗口。 |
| 情境輸入混入多項無關變更 | 建立獨立情境，或記錄協同變更包。 |
| 結果沒有模型或執行識別 | 將結果保留為草稿，並透過可追溯工作流程重新執行。 |
| 模擬趨勢與目前量測衝突 | 由設施和品質負責人重新評審假設，再補充證據或執行受控研究。 |
驗證清單
- 潔淨室和目標等級正確。
- 單位和研究時間已記錄。
- 基線和變更假設清楚可見。
- 目前量測資料已附在評審中。
- 結果具有可追溯的模型或引擎識別。
- 設施和品質負責人已評審下一步行動。