クリーンルーム運転シナリオを比較する
クリーンルームの運転前提を初期比較するときに使用します。半導体運用ワークスペースの離散イベントシミュレーション（DES）では、粒子発生率、ファンフィルターユニット（FFU）台数、扉開閉、更衣手順、解析時間がシナリオ結果に与える影響を比較できます。
運用レビューでは、現在の粒子、差圧、温度、湿度、フィルター、作業指示の証拠と合わせて結果を確認します。
ワークフロー
前提条件
| 要件 | 目的 |
|---|---|
| クリーンルーム識別情報 | 対象室、目標クラス、設備に関連付けます |
| 現在の運転データ | 粒子、差圧、温湿度、フィルターのコンテキストを提供します |
| シナリオ責任者 | 前提と比較課題を確認します |
| 品質または設備レビュー担当者 | 結果が意図した判断に利用できるかを確認します |
シナリオを設定する
- 半導体運用 > クリーンルームシミュレーションを開きます。
- クリーンルームを選択します。
- 比較に使用する粒子発生率を入力します。
- 稼働する FFU 台数を入力します。
- 想定する扉開閉頻度を設定します。
- 更衣手順の状態を選択します。
- 解析時間を設定します。
- シナリオの目的と比較するベースラインを記録します。
- シミュレーションを実行を選択します。
一つの要因の影響を確認する場合は、運転前提を一つずつ変更します。複数の変更をまとめて評価する場合は、名前を付けたシナリオパッケージとして管理します。
結果をレビューする
| 結果 | レビュー項目 |
|---|---|
| 平均粒子数 | ベースラインおよび計測範囲と比べてどう変化したか |
| 回復時間 | 扉開閉後にモデルが定常状態付近へ戻るまでの時間 |
| 到達 ISO クラス | 選択した前提でモデルが到達するクラス帯 |
| 推定エネルギー | FFU 台数と運転時間が推定値に与える影響 |
| 粒子タイムライン | 擾乱の発生時刻と回復の安定性 |
| 換気比較 | 比較する換気範囲でモデル粒子濃度がどう変化するか |
追跡可能なシミュレーション証拠には、クリーンルーム、シーン、入力、エンジンまたはモデル識別情報、実行時刻、出力、レビュー担当者が含まれます。これらがそろわない結果は、シナリオの下書きとして管理します。
運用証拠と結び付ける
モデル結果を次の情報と比較します。
- 粒径とサンプリング点ごとの実測粒子データ
- 差圧カスケード状態と扉開閉イベント
- 温度と湿度の傾向
- FFU の割り当てとフィルター状態
- 保全または作業指示の履歴
- 最新の ISO 14644 評価記録
追加計測、エンジニアリング解析、保全点検、管理された運転試験のどれに進むかを記録します。
問題への対応
| 問題 | 対応 |
|---|---|
| クリーンルーム識別情報または目標クラスが不明確 | 室内識別情報と目標クラスを修正してから比較を実行します。 |
| 現在の粒子または差圧証拠が古い | 運用データを更新し、計測時間枠を記録します。 |
| シナリオ入力に無関係な変更が複数含まれる | 個別シナリオを作成するか、連動する変更パッケージを記録します。 |
| 結果にモデルまたは実行識別情報がない | 結果をドラフトとして保持し、追跡可能なワークフローで再実行します。 |
| モデル傾向が現在の計測と一致しない | 設備と品質の責任者が前提を再確認し、追加証拠を収集するか、管理された調査を実行します。 |
検証チェックリスト
- クリーンルームと目標クラスが正しいです。
- 単位と解析時間が記録されています。
- ベースラインと変更前提が表示されています。
- 現在の計測値がレビューに添付されています。
- 結果に追跡可能なモデルまたはエンジン識別情報があります。
- 設備と品質の責任者が次のアクションをレビューしています。