比较洁净室运行场景
使用本页流程对洁净室运行假设进行早期比较。半导体运营工作区提供离散事件仿真（DES）视图，用于比较粒子发生率、风机过滤单元（FFU）数量、开门活动、更衣规范和研究时长对场景级结果的影响。
在运营评审中使用比较结果之前，还应结合当前粒子、压差、温度、湿度、过滤器和工单证据。
工作流程
前置条件
| 条件 | 作用 |
|---|---|
| 洁净室身份 | 关联正确房间、目标等级和设备 |
| 当前运行数据 | 提供粒子、压差、温湿度和过滤器上下文 |
| 场景负责人 | 确认假设和比较问题 |
| 质量或设施评审人 | 判断结果是否适合支持预期决策 |
配置场景
- 打开半导体运营 > 洁净室仿真。
- 选择洁净室。
- 输入用于比较的粒子发生率。
- 输入启用的 FFU 数量。
- 设置预计开门频率。
- 选择更衣规范状态。
- 设置研究时长。
- 记录场景原因和待比较的基线。
- 选择运行仿真。
需要了解单项因素的影响时，每次只改变一个运行假设。多项调整必须协同评估时，将它们保存为一个有明确名称的场景包。
检查结果
| 结果 | 评审问题 |
|---|---|
| 平均粒子数量 | 与基线和实测范围相比有何变化 |
| 恢复时间 | 开门扰动后，模型多快回到稳定状态附近 |
| 模拟达到的 ISO 等级 | 在所选假设下，场景落在哪个模型等级区间 |
| 估算能耗 | FFU 数量和运行时长如何改变场景估算 |
| 粒子时间线 | 扰动何时发生，恢复过程是否稳定 |
| 换气比较 | 不同换气水平下，模型粒子浓度如何变化 |
可追溯的仿真证据应包含洁净室、场景、输入、引擎或模型身份、运行时间、输出和评审人。缺少这些信息的结果保留为场景草稿。
连接到实际运营
将模型结果与以下证据比较：
- 按粒径和采样点记录的实测粒子数据；
- 压差级联状态和开门事件；
- 温度与湿度趋势；
- FFU 分配和过滤器状态；
- 维修或工单历史；
- 最新 ISO 14644 评估记录。
记录该场景是否支持进一步测量、工程研究、维修检查或受控运行试验。
问题处理
| 问题 | 处理方式 |
|---|---|
| 洁净室身份或目标等级不清楚 | 修正房间身份和目标等级后再运行比较。 |
| 当前粒子或压差证据过期 | 更新运营数据并记录测量时间窗口。 |
| 场景输入混入多项无关变化 | 建立独立场景，或记录协同变更包。 |
| 结果没有模型或运行身份 | 将结果保留为草稿，并通过可追溯工作流重新运行。 |
| 模拟趋势与当前测量冲突 | 由设施和质量负责人重新评审假设，再补充证据或执行受控研究。 |
验证清单
- 洁净室和目标等级正确。
- 单位和研究时长已记录。
- 基线和变更假设清晰可见。
- 当前测量数据已附在评审中。
- 结果具有可追溯的模型或引擎身份。
- 设施和质量负责人已评审下一步行动。