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洁净室数据准备

在 SemiOps 输出进入班次审阅、ISO 证据准备、SMT 质量分析或维护规划前，使用本指南检查数据是否可用。

前提条件​

要求作用
来源负责人每个来源都需要字段含义和同步行为审阅人。
洁净室层级读数需要洁净室、区域、设备和采样上下文。
数据质量审阅趋势和评估依赖当前、对齐的读数。

输入​

来源检查内容
洁净室主数据洁净室 ID、目标等级、面积、压力区域和设备连接。
粒子读数粒径、数量、采样点、周期、单位和仪器上下文。
压差和环境压差、温度、湿度、时间戳和传感器位置。
SMT 记录产线、工站、产品上下文、OEE、缺陷、单位和周期。
公用工程读数功率、冷量、负载、成本假设和表计范围。
维护记录过滤器压降、设备状态、计划、告警和工单反馈。

操作步骤​

  1. 列出来源系统和来源负责人。
  2. 映射洁净室、产线、公用工程和设备身份。
  3. 校验粒子、压差、温湿度、振动和功率单位。
  4. 检查来源新鲜度和拒绝记录。
  5. 将每个数据集标记为可用、带限制可用或阻塞。
  6. 将限制条件记录到 SemiOps 审阅包。

预期输出​

团队应得到一份清晰准备记录，说明哪些 SemiOps 视图可用于运营，哪些只能用于证据审阅，哪些仍被阻塞。

验证清单​

  • 洁净室和设备身份与来源数据一致。
  • 传感器时间戳和单位一致。
  • SMT 记录包含产线、产品和周期。
  • 公用工程范围和假设可见。
  • 数据限制在审阅前已记录。

故障处理​

现象处理
传感器时间戳不对齐检查时区、采样间隔和连接器同步历史。
粒子数据缺少采样上下文在上下文确认前保持 ISO 评估为草稿证据。
SMT 缺陷数据不完整缺少数量、单位或机会数假设时，不比较 DPMO。
维护数据过期记录新鲜度缺口并检查来源连接器。

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