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潔淨室資料準備

在半導體營運輸出進入班次審閱、ISO 證據準備、SMT 品質分析或維護規劃前，使用本指南檢查資料是否可用。

前提條件​

要求作用
來源負責人每個來源都需要欄位含義和同步行為審閱人。
潔淨室層級讀值需要潔淨室、區域、設備和採樣上下文。
資料品質審閱趨勢和評估依賴目前、對齊的讀值。

輸入​

來源檢查內容
潔淨室主資料潔淨室 ID、目標等級、面積、壓力區域和設備連接。
粒子讀值粒徑、數量、採樣點、週期、單位和儀器上下文。
壓差和環境壓差、溫度、濕度、時間戳和感測器位置。
SMT 記錄產線、工站、產品上下文、OEE、缺陷、單位和週期。
公用工程讀值功率、冷量、負載、成本假設和表計範圍。
維護記錄濾網壓降、設備狀態、計畫、告警和工單回饋。

操作步驟​

  1. 列出來源系統和來源負責人。
  2. 對應潔淨室、產線、公用工程和設備身份。
  3. 校驗粒子、壓差、溫濕度、振動和功率單位。
  4. 檢查來源新鮮度和拒絕記錄。
  5. 將每個資料集標記為可用、帶限制可用或阻塞。
  6. 將限制條件記錄到半導體營運審閱包。

預期輸出​

團隊應得到一份清晰的準備記錄，說明哪些半導體營運檢視可用於營運，哪些只能用於證據審閱，哪些仍被阻塞。

驗證清單​

  • 潔淨室和設備身份與來源資料一致。
  • 感測器時間戳和單位一致。
  • SMT 記錄包含產線、產品和週期。
  • 公用工程範圍和假設可見。
  • 資料限制在審閱前已記錄。

故障處理​

現象處理
感測器時間戳不對齊檢查時區、採樣間隔和連接器同步歷史。
粒子資料缺少採樣上下文在上下文確認前保持 ISO 評估為草稿證據。
SMT 缺陷資料不完整缺少數量、單位或機會數假設時，不比較 DPMO。
維護資料過期記錄新鮮度缺口並檢查來源連接器。

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