SemiOps 潔淨室與廠務營運
SemiOps 是面向半導體廠務和潔淨室營運的產業模組。它把營運數位孿生上下文與潔淨室讀值、SMT 生產記錄、廠務測量、維護記錄、合規評估和 AI 輔助審閱工作流程連接起來。
當設施、製造或品質團隊需要監控潔淨室狀態、調查設備或工藝風險，並為營運團隊準備已審閱行動時，使用本指南。
AI 工具層請查看 SemiOps AI 工具。
SemiOps 工作流程
目前支援內容
| 區域 | 使用者可以審閱的內容 |
|---|---|
| Dashboard | 潔淨室數量和狀態、SMT 產線狀態、平均 OEE、目前 PUE 和活動告警。 |
| 潔淨室 | 潔淨室列表、詳情、粒子歷史、ISO 評估歷史和壓差梯度狀態。 |
| SMT 營運 | 產線概覽、OEE、生產記錄、缺陷記錄、DPMO 輸入和瓶颈模擬輸入。 |
| 廠務系統 | 公用工程讀值、PUE 趨勢、負載預測輸入和冷機負載最佳化輸入。 |
| 維護 | 濾網狀態、設備健康、振動評估和預防性維護計畫。 |
| 合規審閱 | ISO 14644 評估記錄和營運合規證據摘要。 |
| 決策中心 | 近期告警、決策歷史、閉環建議草稿、動作優先級、what-if 比較、容量規劃、執行規劃和升級規劃。 |
開始前準備
| 要求 | 說明 |
|---|---|
| 租戶訪問 | 操作員必須位於正確客戶或站點租戶。 |
| 權限 | 唯讀工作流程需要 semiops.view。記錄評估、建立決策記錄和準備執行動作需要 semiops.edit。 |
| 潔淨室主資料 | 潔淨室應包含面積、目標等級、位置和關聯設備。 |
| 感測器讀值 | 粒子、壓力、溫度、濕度、振動和公用工程測量值應對應到正確潔淨室、產線或設備。 |
| 製造記錄 | SMT 產線、OEE、生產和缺陷記錄應使用一致時間戳、產線 ID、檢查類型和產品上下文。 |
| 維護記錄 | 設備狀態、告警、工單和預防性維護計畫應足夠新鮮。 |
| 資料基礎 | 來源系統需要連接器、對應、同步歷史、品質審閱或受治理資料集時使用 DFS。 |
入口路由
| 檢視 | 路由 |
|---|---|
| Dashboard | /semiops/dashboard |
| Cleanroom list | /semiops/cleanrooms |
| Cleanroom detail | /semiops/cleanrooms/:id |
| SMT overview | /semiops/smt |
| SMT defects | /semiops/smt/defects |
| Energy overview | /semiops/energy |
| Utility breakdown | /semiops/energy/utilities |
| Environment overview | /semiops/environment |
| Environment correlation | /semiops/environment/correlation |
| Environment prediction | /semiops/environment/prediction |
| Soft sensors | /semiops/environment/soft-sensor |
| Filter maintenance | /semiops/maintenance/filters |
| Equipment health | /semiops/maintenance/health |
| Vibration | /semiops/vibration |
| Compliance | /semiops/compliance |
| Decision center | /semiops/decision-center |
| Cleanroom simulation | /semiops/simulation/cleanroom |
| SMT simulation | /semiops/simulation/smt |
關鍵工作方式
審閱潔淨室
打開 SemiOps > Cleanrooms，選擇潔淨室，審閱粒子趨勢、ISO 評估歷史、壓差梯度和壓力 cascade 狀態，並確認關聯設備。
記錄 ISO 評估
合規工作流程用於記錄 ISO 14644 評估結果。先確認粒子資料和目標等級，執行評估後審閱 assessed class、pass 狀態、各粒徑限制、均值和 upper confidence limit。只有授權審閱人確認後才儲存評估。
監控粒子和壓力
| 檢查 | 輸入 | 輸出 |
|---|---|---|
| 粒子監控 | 采樣點、粒徑、粒子數和 ISO class。 | 正常、預警或嚴重狀態，以及粒徑摘要和告警詳情。 |
| 壓力 cascade | 區域、目標壓差、實際壓差和容差。 | 正常、預警、反向或感測器故障狀態。 |
| 環境趨勢 | 近期參數值、時間戳、horizon 和可選阈值。 | 預測值、趨勢方向、置信度和阈值時間。 |
| 環境相關性 | 溫度、濕度、壓力、粒子或其他參數的對齊時間序列。 | 成對相關性、强相關項和生成洞察。 |
| Soft sensor | 溫度、濕度、粒子、換氣次數、潔淨室年齡、濾網壓降和執行小時。 | AMC、露點和濾網負載估計。 |
審閱 SMT 產線表現
使用 SMT 檢視把設備上下文與產線表現連接起來：查看 OEE、缺陷記錄、缺陷分類、DPMO 輸入和瓶颈模擬。SMT 模擬在執行環境依賴可用時使用離散事件模擬，否則使用分析計算。它用於產線平衡規劃和審閱。
審閱廠務和能源信號
SemiOps 能計算 PUE、短期負載預測和冷機負載候選方案。現場調整前，需要由廠務團隊確認設定點、安全限制和執行約束。
使用決策中心
決策中心把近期告警和營運記錄放入結構化審閱工作流程。審閱近期告警和決策歷史，生成閉環建議草稿，檢查優先級、what-if 和容量規劃，然後由負責人確認是否執行或升級。
API 範圍
SemiOps 應用 API 位於 /api/v1/semiops 下：
| 分組 | 示例 endpoint |
|---|---|
| Cleanroom | /cleanrooms, /cleanrooms/{id}, /cleanrooms/{id}/particles, /cleanrooms/{id}/iso-assessments, /pressure-gradients |
| SMT | /smt/lines, /smt/lines/{id}/oee, /smt/lines/{id}/production, /smt/defects |
| Utilities | /utilities, /energy/pue |
| Maintenance | /maintenance/filters, /maintenance/health, /maintenance/vibration, /maintenance/schedule |
| Compliance | /compliance/iso14644, /compliance/assessments, /compliance/assess |
| Decision | /decision/recent, /decision/history, /decision/closed-loop, /decision/execute-plan, /decision/escalate |
| Prediction | /prediction/action-priority, /prediction/what-if, /prediction/capacity |
AI 輔助工具位於 /ai/semiops，包括 /iso-assess、/pressure-check、/particle-monitor、/env-predict、/env-correlate、/soft-sensor、/filter-predict、/health-score、/vibration-assess、/pue、/load-forecast、/cop-optimize、/defect-classify、/defect-dpmo 和 /bottleneck-sim。
驗證清單
- 潔淨室、設備、產線和公用工程標識對應到正確租戶物件。
- 感測器、生產記錄、告警和工單時間戳對齊。
- 壓力、粒子濃度、振動速度、冷量需求和功率等工程單位一致。
- 來源值對目前決策足夠新鮮。
- 告警和工單負責人可見。
- AI 輔助輸出已由設施、製造、品質或維護負責人審閱。